石墨舟和硅片都具有較好的導電性能，但它們的應用場景和導電方式有所不同。石墨舟是一種用于工業(yè)煉制和加工的舟艇，由于石墨具有高導電性能，因此石墨舟在液態(tài)金屬中的導電性能較好。而硅片作為半導體材料，其導電方式則是通過控制半導體材料的摻雜和結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)。因此，雖然石墨舟和硅片都具有較好的導電性能，但它們的導電方式和應用場景有所不同。

石墨舟導電性能明顯優(yōu)于硅片的導電性能，因此石墨舟和硅片在鍍膜過程中存在著明顯的競爭，導致石墨舟與硅片接觸的區(qū)域沉積速率低，形成嚴重的色差，以致電池片外觀不良和電學性能較差，因而必須對石墨舟進行氮化硅飽和處理，使石墨舟與硅片具有相近的導電性。

石墨舟為什么要飽和

舟的飽和程度足夠且內(nèi)壁上沉積的氮化硅膜不是很厚，使得鍍膜的均勻性表現(xiàn)良好，是石墨舟的最佳狀態(tài)。而石墨舟使用后期，由于內(nèi)壁上沉積的氮化硅很厚，會導致局部氮化硅膜脫落，引起舟的表面狀態(tài)發(fā)生變化，并且氮化硅膜很厚會引起舟的導熱性能發(fā)生變化，局部過厚會引起色差偏的產(chǎn)生。因此石墨舟飽和程度不夠和石墨舟使用次數(shù)太多都會使鍍膜的均勻性變差。

石墨舟使用次數(shù)太多會使內(nèi)壁沉積過厚的氮化硅膜，就需要將石墨舟內(nèi)壁表面的氮化硅膜洗掉，重新進行飽和工藝之后再運行工藝。隨著技術(shù)發(fā)展，工藝過程中對氮化硅膜厚度的要求越來越厚，以及設備功率越來越大，會增加洗舟次數(shù)，降低石墨舟的壽命。

為了提高鍍膜的均勻性，延長石墨舟的使用壽命，在石墨舟飽和工藝中采用先鍍一層SiC膜，然后再渡一層SiNx膜的處理方法，可以有效的降低色差片的比例，增加合格率。